반도체 공정용 장비 전문기업 글로벌스탠다드테크놀로지(GST)가 GWP 1인 친환경냉매 CO₂를 적용한 칠러를 국내 최초로 해외 반도체 고객사에 공급해 주목받고 있다.

 

GST는 2001년 설립 이후 코스닥 상장 중견기업으로 성장하며 반도체 공정용 장비분야에서 25년간 업력을 쌓아왔다. 현재 전문경영인 체제를 도입해 각자 대표이사 체제로 운영되고 있으며 2025년 9월 말 기준 임직원 수는 750명이다.

 

주력제품은 반도체 전 공정에 필수적인 스크러버(Scrubber)와 칠러(Chiller)다. 스크러버는 공정 중 발생하는 유해가스를 정화하며 칠러는 반도체 제조장비의 온도를 정밀제어하는 제품이다. 두 제품은 우수한 성능과 신속한 CS대응을 바탕으로 글로벌 주요 고객사에 안정적으로 공급되고 있다.

 

CO₂칠러, 반도체업계 친환경 전환 선도

 

GST가 개발한 CO₂칠러는 고압냉매를 활용한 2단 압축사이클이 핵심기술이다. 냉매의 압축비만을 보는 것이 아니라 압축압력차를 최소화해 구동부 부하를 줄이고 결과적으로 압축기 소비전력을 최적화해 저전력·저소음 운전을 구현한 것이 가장 큰 특징이다.

 

현재 이 기술은 반도체 제조공정(Process)용 칠러뿐만 아니라 콜드체인용 CDU(condensing unit), 공기조화용 히트펌프, 기존 HFC 냉동기대체 시장 등 다양한 분야에 적용되고 있다. 특히 반도체분야에서는 기존 해외 주도 시장(SMC, ATS 등)에서 국산 대안으로 자리잡으며 국내 최초 수출 사례를 통해 해외 CO₂칠러에 대응할 수 있는 경쟁력을 확보했다.

 

GST는 CO₂칠러를 반도체 고객사가 요구하는 탄소중립 목표를 충족시키는 솔루션으로 제시하고 있다. HFC 등 기존 냉매사용 칠러의 온실가스 배출은 탄소중립 달성을 가로막고 있어 대체제품 개발은 전 세계적인 핵심과제 중 하나다.

 

CO₂칠러는 지구온난화지수(GWP)가 1에 불과한 자연냉매를 사용함으로써 기존 HFC계열 칠러 대비 직접 배출량을 99.9% 이상 줄일 수 있어 국내 반도체 제조업계의 친환경 전환을 선도하는 솔루션으로 평가받고 있다.

 

냉각 전문 연구·설계 인력과 20년 이상 쌓아온 칠러 기술 노하우를 보유한 GST는 현재 양산 중인 온도영역을 넘어 더 낮은 영역까지도 냉각사이클 구성 및 설계를 자체적으로 진행할 수 있는 기술 기반을 확보하고 있다. 이는 향후 저온영역대에서 친환경 전환 수요가 본격화되더라도 신속하고 안정적인 솔루션을 제공할 수 있다는 의미이며 CO₂칠러의 지속가능한 경쟁력이 되고 있다.

 

환경·가격·유지관리 등 절대적인 우위 확보

 

GST의 CO₂칠러는 동일 온도영역에서 타사 제품대비 냉각능력이 10~20% 높으며 기존 HFC·HFO냉매를 사용하는 칠러보다 소비전력과 냉각수 사용량을 각각 20% 이상 줄일 수 있다. 특히 운용압력이 경쟁사대비 20% 이상 낮아 시스템 전체의 안정성과 수명이 크게 향상된다.

 

또한 환경 측면에서는 결정적인 우위를 점하고 있다. GWP가 1에 불과한 자연냉매인 CO₂를 사용하기 때문에 키갈리개정안이나 EU F-Gas규제의 영향을 전혀 받지 않는다. 향후 미국 AHRI규정이 개정되면 GWP 산정기준이 바뀌면서 HFO계열 냉매는 GWP가 50~100 이상으로 대폭 상향 조정되는 반면 자연냉매인 CO₂는 GWP 1을 그대로 유지한다. 이에 따라 GST의 CO₂칠러는 앞으로 환경규제가 강화되더라도 규제면제 혜택을 계속 누릴 수 있다.

 

납기, 가격경쟁력, 유지보수도 강점이다. 현재 양산화된 사양은 주문 후 10주 이내 출하가 가능하며 가격은 해외 경쟁사와 동등하거나 이하 수준이다. 유지보수 측면에서는 CO₂사이클에 대한 깊은 이해도를 갖춘 CS엔지니어가 고객요청 시 신속하게 현장 대응할 수 있는 체계를 갖추고 있다.

 

규제 및 인증 대응도 차별화 포인트다. 국내 고압가스안전관리법상 3톤 미만 소형설비로 분류돼 별도 고압가스 인허가가 필요없으며 실내공기질관리법이나 GWP규제에서도 제외된다. CO₂는 비가연·비독성 냉매이기 때문에 설치장소에 따른 환경규제 부담이 사실상 없다. 현재 Semi-S2, UL인증을 진행 중이며 고객사가 요구하는 CE 등 글로벌인증도 신속하게 대응할 수 있는 역량을 갖추고 있다.

 

국내 최초 CO₂칠러 수출

 

GST는 최근 국내 최초로 CO₂칠러를 해외 반도체 고객사에 공급했다.

 

GST의 관계자는 “CO₂칠러 수출은 ‘지구환경을 보호하고 미래를 열어갈 새로운 기술을 선도하는 기업’이라는 비전을 실제 현장에서 증명한 첫 성과”라며 “이번 납품은 단순한 장비판매를 넘어 글로벌 반도체업계가 요구하는 친환경 전환의 실질적인 시작점이 됐다는 데 의미가 크다”고 강조했다.

 

현재 반도체 제조용 칠러시장은 기존 HFC계열에서 CO₂기반으로 패러다임이 옮겨가기 시작한 초기 국면이다. 이번 사례를 기점으로 CO₂칠러가 반도체공정의 주류 냉각 솔루션으로 자리 잡는 시점이 생각보다 빠르게 다가올 것으로 GST는 기대하고 있다.

 

GST의 관계자는 “현재 미국과 유럽을 중심으로 냉매 관련 규제가 본격 발효되면서 규제 수준도 점차 강화되고 있다”라며 “이 흐름은 조만간 대만과 한국을 포함한 글로벌시장 전체로 확산될 가능성이 매우 높다”고 강조했다.

 

이어 “현재 규제환경 변화를 CO₂칠러의 글로벌 수요가 본격적으로 확대되는 중요한 시기로 보고 있으며 이번 기회를 놓치지 않고 적극 대응해 나갈 계획”이라며 “우선 영업 측면에서 이번 해외 첫 납품 사례를 핵심 레퍼런스로 삼아 국내·외 마케팅을 대폭 강화할 예정”이라고 강조했다.

 

경쟁사대비 기술과 실적 격차가 가장 큰 지금이 시장을 선점할 절호의 기회라고 보고 있는 GST는 미국, 유럽, 대만, 한국 등 주요 고객사를 대상으로 적극적인 영업 활동을 펼쳐 2026~2027년 안에 글로벌 반도체 공정용 칠러시장에서 GST의 CO₂칠러가 표준으로 자리 잡는 기반을 마련하는데 회사역량을 집중한다는 방침이다.