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원방테크, 클린룸 가습에너지 최소화 기술력 인정

에너지대상서 단체부문 산업부 장관표창 수상
직접분무식 수가습시스템 개발, E절감 극대화



산업용  드라이클린룸드라이룸 전문기업 원방테크가 산업용 클린룸에 직접분무식 수가습시스템을 적용해 에너지절감 극대화를 실현해 산업통상자원부가 주최하고 한국에너지공단이 주관한 '2022 한국에너지대상' 단체부문 산업통상자원부 장관상을 수상했다.


반도체디스플레이  첨단전자산업은 국가차원의 핵심사업  하나이며 제조공정상 클린룸시설이 필수적이지만 에너지사용이 대단히 많은 시설로 연중 냉방을 필요로 하는 에너지다소비시설이다.


특히 클린룸은 생산수율을 높이기위해 온도와 습도를 정밀하게 관리하기 위한 냉난방제어기술이 적용돼 있다일반적으로 온도는 클린룸의 순환풍도에 설치되는 DCC 장비에 냉수를 공급열교환하는 방법으로 제어되고 있으며 겨울철 습도는 외기를 공급하는 OAC 공조장치에 스팀가습장치를 설치해 클린룸에 공급하는 방법으로 관리된다스팀가습장치는 보일러(LNG 가스연료) 필수적으로 운영하게 됨으로써 겨울철 대규모 보일러설비를 운영하기 때문에 많은 에너지가 소모된다.  

원방테크는 대규모 보일러 가동을 줄이고 클린룸 가습에너지소비 최소화를 위해 스팀가습방식을 대체하기 위한 클린룸 직접분무식 수가습시스템(Plenum Moisturing System) 개발했다


원방테크의 관계자는 "클린룸의 가습은 외기공급장치(OAC) 내부에 스팀가습기를 설치해 운영 방식이나 다량의 초순수를 공급해 기액접촉을 통한 가습효과를 얻는 기화가습기장치를 혼합 운영하는 방식으로 운영되고 있다"라며 "이러한 가습방식은 대규모 가습에 일반적으로 적용돼온 기술이지만 가습에 필요한 많은 에너지와 비용이 소모된다" 밝혔다.


원방테크가 개발한 직접분무식 수가습시스템은 클린룸 순환공기의 상태를 습도센서를 통해 감지하고 습도가 낮은 구역의 노즐을 열어 공기 중으로 수분을 공급한다이때 공기 중으로 빠른 시간 안에 기화시키는 것이 핵심기술이다.


이에 따라 겨울철 가습 에너지절감과 정밀한 습도제어 효과뿐만 아니라 물입자가 공기 중에서 기화하면서 발생되는 단열냉각 효과를 부가적으로 얻을  있다이는 클린룸의 현열을 제거하기 위해 가동되는  DCC 냉방부하를 감소시켜줌으로써 결과적으로 겨울철 냉동기 가동을 상당히 줄여주는 효과를 얻게 된다 이러한 에너지절감은 스팀가습방식대비85% 운전비 절감 효과를 얻을  있다


원방테크의 관계자는 "국내의 대형 반도체디스플레이 클린룸에 계속해서 확대 설치돼 에너지절감에 기여하고 있으며중국일본 등의 해외시장에서도 기술 소개와 제안을 꾸준히 진행하고 있다"라며 "기존에 건설된 클린룸이나 신규 구축되는 클린룸에 상관없이 시스템 구축이 가능한 기술로 현재도 꾸준히 현장에 보급되고 있다" 강조했다.